在材料表面處理領(lǐng)域,多弧離子鍍膜設(shè)備憑借出色性能,成為提升材料性能的關(guān)鍵裝備,多樣應(yīng)用于各行業(yè)。

其以冷陰極真空弧放電理論為基礎(chǔ)。真空電弧點(diǎn)燃后,陰極靶材表面光斑快速游動(dòng),強(qiáng)大電流使金屬靶材氣化,原子電離成高能量正離子,如 Ti?,在真空室中與其他離子反應(yīng)后沉積在工件表面成膜。電荷轉(zhuǎn)移依賴(lài)場(chǎng)致電子發(fā)射與正離子電流機(jī)制,二者相互作用,保障放電穩(wěn)定,為鍍膜供能。
設(shè)備主要由四部分構(gòu)成。真空鍍膜室用品質(zhì)不銹鋼打造,定制化設(shè)計(jì)以營(yíng)造純凈穩(wěn)定的真空環(huán)境;弧源是主要組件,國(guó)內(nèi)多為小型弧源,國(guó)外大型弧源及多弧源配置可提升鍍膜效率與均勻性;真空獲取系統(tǒng)由機(jī)械泵、羅茨泵、分子泵等協(xié)作,將氣壓降至 10??Pa 以下;偏壓源通過(guò)施加負(fù)偏壓,調(diào)控離子運(yùn)動(dòng)與能量,精確控制鍍膜質(zhì)量。
該設(shè)備具備明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。高沉積速率可達(dá) 100nm/s - 1000nm/s,適合大規(guī)模生產(chǎn);高金屬離化率達(dá) 60% - 80%,增強(qiáng)涂層性能;高入射粒子能量使涂層更致密、結(jié)合更牢固;涂層致密度高,防護(hù)性能優(yōu)異;且設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低電壓運(yùn)行,配備完善安全保護(hù)系統(tǒng)。
在應(yīng)用上,工業(yè)工具鍍膜可有效提升硬度與壽命,例如銑刀鍍上 TiAlN 涂層后,切削高溫合金時(shí)耐用度提升 3 倍;電子領(lǐng)域,智能手機(jī)芯片封裝采用鍍膜技術(shù),抗靜電能力大幅增強(qiáng);光學(xué)領(lǐng)域,單反相機(jī)鏡頭經(jīng)鍍膜處理后,光線透過(guò)率提升,成像色彩更真實(shí);汽車(chē)制造中,發(fā)動(dòng)機(jī)活塞環(huán)鍍膜有效減少摩擦損耗;醫(yī)療器械方面,骨科植入物鍍膜后生物相容性提高,降低排異風(fēng)險(xiǎn);航空航天領(lǐng)域,多弧離子鍍膜設(shè)備能為火箭發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片鍍上耐高溫、抗氧化涂層,滿(mǎn)足極端環(huán)境需求。
多弧離子鍍膜設(shè)備憑借獨(dú)特原理、先進(jìn)優(yōu)勢(shì)與廣泛應(yīng)用,為各行業(yè)發(fā)展提供有力支持,未來(lái)將發(fā)揮更重要作用。